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Poly-Fluoro折疊式濾心是以聚四氟乙烯(PTFE)微孔濾膜為材料,由於PTFE膜獨特的4氟結構,使其具有極佳的抗強酸、強鹼溶劑性質,可滿足半導体廠wet etching, solvent strip及cleaning 製程中的強酸鹼溶液過濾,鴻維公司所採用的PTFE濾膜是以先進的雙軸延伸技術(Di-axis)所生產的PTFE微孔濾膜,濾膜本身具有80~95%的孔隙率,孔徑均勻度相當均一,且每支濾心的過濾面積高達0.9m2 (一般國外進口品牌同級濾心0.67~0.8m2),使得 Poly-Fluoro PTFE 濾心具有流量高,壓差低、 使用壽命長的特性。 |
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【產品特性】
.PTFE濾膜具有極佳的抗化性
.濾膜孔率高達80~95%
.0.9m2的過濾面積、壓差低、流量高
.無塵環境生產,濾心清潔度高
.18M-Ω DI water/2GPM清洗30min,TOC含量低於40ppb
.濾心可完整性測試
.端蓋與接頭以熱旋融方式封合,不加黏著劑
【操作條件】
.最大操作壓差:95°C時:1.4 kg/cm2
20°C時:5.6 kg/cm2
.最高操作溫度:95°C
【產品應用領域】
.半導体廠濕蝕刻、溶劑剝離、清洗等製程80°C以下強酸鹼溶 液及純水過濾
.TFT-LCD廠濕蝕刻、剝離、清洗等製程80°C以下強酸鹼溶液 及純水過濾
.CD片、DVD片生產廠濺鍍
液及光阻劑過濾
.DI Water系統末端精密過濾
.特殊光電化學藥品廠 Chemical delivery system 過濾
【產品規格】
.Pore size: 0.05, 0.1,0.2,0.45,1 micron
.濾材材質:PTFE(Ploytetrafluoroethylene)薄膜
.支撐材:PP
.端蓋套筒:高強度PP
.O-ring材質:EPDM,Buan N,Silicone,Viton, Viton encapsulated PFA
.過濾面積:0.9m2
.尺寸:10“,20”,30“,40”
.內徑:28mm
.外徑:69mm
【完整性測試】
【初始壓差】
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